万级净化主要靠洁净的气流不断稀释室内的空气,将室内的污染逐渐排出,来实现洁净效果。室内的气流是以不均匀的速度呈不平行流动,拌有回流或涡流,不同等级的无尘室,主要是依靠单位时间内所送风量的不同来实现.。
1、尘粒允许数(每立方米):大于或等于0.5微米的粒子数不得超过350000个;大于或等于5微米的粒子数不得超过2000个。
2、微生物允许数:浮游菌数每立方米不得超过100个;沉降菌数每培养皿不得超过3个。
1、气流速度及其均匀度检测。这项检测是无尘室效果的其他各项检测的前提,这项检测的目的是为了明确单向流无尘室工作区的平均气流通度及其均匀性。
2、系统或房间的风量检测。
3、室内洁净度的检测。洁净度的检测是为了确定洁净环境可达到的空气洁净度级别,可采用粒子计数器检测。
4、自净时间的检测。通过确定自净时间,查明洁净室内部发生污染时恢复其原有洁净度的能力。
5、气流流型检测。
6、噪声的检测。
7、照度的检测。照度检测的目的是为了判明洁净室的照度水平和照度的均匀性。
8、振动的检测。振动检测的目的是为了判明无尘室各表明的振动幅度。
9、温、湿度的检测。温、湿度检测的目的是把温度、湿度调整到一定限度内的能力。其内容包括检测无尘室的送风温度,检测有代表性测点的空气温度,检测无尘室中心点的空气温度,检测敏感元件处的空气度,检测室内空气相对温度,检测回风温度。
10、总风量和新风量的检测。
1、尘粒和微生物
每立方米的尘粒最大允许数:≤2500;≥0.5微米的粒子数不得超过350000个,≥5微米的粒子数不得超过2000个;微生物最大允许数:每立方米的浮游菌数不得超过100个;每个培养皿的沉隆菌数不得超过3个。
2、压差
洁净度等级相同的洁净室压差保持一致,对于不同洁净等级的相邻洁净室之间压差要大于或等于5Pa,洁净室与非洁净室之间要大于或等于10Pa。
3、温度、湿度
当万级无尘车间对温度、湿度无特殊要求时,以穿着洁净工作服不产生不舒服感为宜,温度一般控制在冬季20~22℃;夏季 24~26℃;上下波动2℃。冬季洁净室湿度控制在30-50%RH,夏季洁净室湿度控制在50-70%RH。
4、配电
洁净室(区)的主要生产用房一般照度值宜大于或等于300Lx;辅助工作室、人员净化和物料净化用室、气闸室、走廊等的照度值宜为200~300Lx。
5、噪声控制
动态测试时,万级洁净室内的噪声级≤70分贝A。静态测试时,万级乱流洁净室的噪声级≤60分贝A。
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